济南d,c基体集成线扫描(at.%)显示晶界处Cr,W和Re的偏析以及Co和Ni的耗尽。

开元a.具有6nm的HfO2电介质的短沟道器件的光学显微图像。该集成方法不仅可用于制备高性能的MoS2晶体管，隧道并且还可以优化工业开发工具如光电系统、计算机辅助系统等。

南洞d.与文献中反相器的增益比较。单层MoS2，展露具有原子级的厚度、展露无悬挂键的表面，在亚纳米厚度下仍然能表现出优异的电学特性，有效的避免短沟道效应，因此成为理想的二维半导体材料。新颜©SpringerNatureLimited图4 具有范德华触点的单层MoS2的反相器。

第一作者为杨向东教授（现已入职宁波工程学院）和副教授李佳，济南通讯作者为刘渊教授和段曦东教授。一、开元【导读】 随着科学技术的进一步发展，开元人类进一步从信息化时代向智能化时代转变，其中人工智能，智能汽车等行业的发展均离不开半导体行业的进一步发展。

隧道c.短沟道器件的转移特性。

工业化的应用对二维半导体的大规模制备及其性能也有了更高的要求，南洞传统的光刻和金属化工艺也可以实现二维晶体管（FET）的晶圆集成，南洞但是设备的差异性所引起的性能的差异性，有可能导致电子器件性能的数量级的降低，迫使人们寻求新的解决方法。如发热，展露来些消炎药吃下。

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